數(shù)字芯片潔凈車間建設(shè)方案簡(jiǎn)要：

　　一、主體工程

　　1、地面：

　　A、主廠房：承載力>=2噸/平方米，有防水層，面層要求水磨石，設(shè)備房地面承載力要求>2噸/平方米，面層為水泥漿原漿找平;

　　B、庫(kù)房：一樓地面要求承載力>=3噸/平方米，二樓地面承載力>500 kg/㎡，面層均要求水磨石，水磨石表面平整，接縫平直，縫漿飽滿，縱橫方向無(wú)明顯錯(cuò)臺(tái)錯(cuò)位，地面找平處理后,局部的平整度誤差不得高于2mm/2M2;

　　C、氫氣站、硅烷站地面承載力>2噸/平方米,面層為水泥漿原漿找平;

　　2、高度：要求廠房最低凈高6000mm;倉(cāng)庫(kù)層高5000mm;

　　3、跨度：橫向8000m，縱向7～8m(見(jiàn)詳設(shè)備布局圖)，設(shè)備房寬度要求9000m;

　　4、屋面荷載：空調(diào)機(jī)房頂屋面要求>500kg/㎡，尾氣處理位置>500 kg/㎡(本荷載沒(méi)有考慮風(fēng)載、雪載等，若有屋頂發(fā)電站則要考慮電站的基本參數(shù));

　　5、裝修：設(shè)備房、庫(kù)房、非潔凈區(qū)域、氫氣站、硅烷站要求中級(jí)抹灰粉刷，潔凈區(qū)域要求水泥砂漿粉刷，衛(wèi)生間按中等標(biāo)準(zhǔn)裝修;

　　6、門、窗：

　　A、 門：進(jìn)/出貨門為5000×5000MM卷簾門，向外開(kāi)的衛(wèi)生間門為850mm×3000mm，設(shè)備房外墻門為3500×3000mm，安全逃生門為1200mm×3000mm，其他外墻門為4000mm×3000mm;

　　B、窗：廠房窗為高窗，窗臺(tái)高度為4000mm，每跨有一扇可推拉;庫(kù)房窗一樓為高窗，窗臺(tái)高度為4000mm,每跨有一扇可推拉，二樓以上按標(biāo)準(zhǔn)廠房設(shè)計(jì);

　　C、 泵房窗：泵房窗為固定磨砂玻璃隔熱保溫窗，每跨有一扇可推拉，長(zhǎng)方向要設(shè)計(jì)對(duì)流排氣風(fēng)機(jī)且要考慮冬季保溫;

　　D、 天窗設(shè)置要符合設(shè)備布置要求;

　　E、 參觀窗(樓梯)設(shè)置要符合二次裝修及參觀通道設(shè)計(jì)要求;

　　7、衛(wèi)生間：衛(wèi)生間布局要按照甲方統(tǒng)一圖紙規(guī)劃;

　　8、氫氣站、硅烷站、氮?dú)庹?、特氣房的設(shè)計(jì)均要按照相關(guān)規(guī)范及甲方設(shè)備布局要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　9、消防工程：主廠房消防設(shè)計(jì)要根據(jù)二次裝修需求和布局進(jìn)行統(tǒng)一設(shè)計(jì)，滅火器要求用手推式二氧化碳滅火器;設(shè)備房、特氣房、氣站及庫(kù)房可按照相關(guān)消防規(guī)范、標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，特氣站、特氣房的防雷、避雷和防靜電要符合要求，主廠房?jī)?nèi)部防火墻的設(shè)計(jì)應(yīng)按照裝修布局給予考慮;

　　10、照明：庫(kù)房、設(shè)備間、衛(wèi)生間的照明按相關(guān)規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)，主廠房?jī)?nèi)部照明不需設(shè)計(jì);

　　11、電梯與卸貨平臺(tái)：庫(kù)房電梯要求B1800mm×L3000mm,電梯開(kāi)門寬度最少1800mm，載重>3噸;卸貨平臺(tái)要按照要求設(shè)置;

　　12、設(shè)備配套設(shè)施：

　　A、設(shè)備接地布置要按照設(shè)備布置圖進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　B、 設(shè)備排水(管/溝)及循環(huán)水設(shè)施要按照工藝及設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　C、 地面鋪設(shè)鋼板位置要按照設(shè)備布置要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　D、 循環(huán)水池和循環(huán)水的設(shè)計(jì)要按照工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　E、 設(shè)備房及屋頂設(shè)備的設(shè)備基礎(chǔ)要按照設(shè)備基礎(chǔ)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行設(shè)計(jì);

　　F、 自來(lái)水用量要求：80T/H，各進(jìn)水口具體位置要滿足工藝要求，且每處進(jìn)水口均應(yīng)配備閘閥和水表;電用量要求：10000KVA;

　　G、供熱：設(shè)備房、庫(kù)房、衛(wèi)生間按當(dāng)?shù)毓針?biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)，廠房空調(diào)房區(qū)域應(yīng)預(yù)留DN300的熱水管，壓力為0.3MPa~0.4MPa，水溫60～80℃，具體供暖在二次裝修考慮;

　　H、車間層壓機(jī)段要設(shè)計(jì)地下室(用于做真空泵，本地下室需要通風(fēng)排風(fēng)，防水設(shè)計(jì));

　　I、廠房為丙類。

      數(shù)字芯片潔凈車間生產(chǎn)工藝流程：

      芯片設(shè)計(jì)流程
      模擬芯片和數(shù)字芯片設(shè)計(jì)流程是有所區(qū)別的。其中數(shù)字芯片包含RTL Design（代碼設(shè)計(jì)）-> verification（功能驗(yàn)證） -> Synthesis邏輯綜合 -> Place&Routing布局布線 -> Tapeout流片 -> Manufacture生產(chǎn)制造。模擬芯片包含Circuit Design電路設(shè)計(jì) -> Simulation電路仿真 -> layout模擬版圖 -> Tapeout流片 -> Manufacture生產(chǎn)制造。

      設(shè)計(jì)流程
      市場(chǎng)需求愛(ài)；1. Spefication項(xiàng)目需求規(guī)格書；2. System level Design系統(tǒng)及設(shè)計(jì)（從理論級(jí)別進(jìn)行建模驗(yàn)證，對(duì)構(gòu)想進(jìn)行穿刺）；3. Design and verfication設(shè)計(jì)與驗(yàn)證；4. Place and Routing布線布局。
      其中市場(chǎng)需求和spec是由開(kāi)發(fā)SE和市場(chǎng)確定下來(lái)，但是核心的技術(shù)指標(biāo)需要相應(yīng)模塊的開(kāi)發(fā)人員進(jìn)行統(tǒng)一的確定。一個(gè)具體的需求確定下來(lái)一般情況下都需要012三步進(jìn)行一個(gè)反復(fù)的討論最終確定下來(lái)。其中2同時(shí)也將各個(gè)模塊之間的接口也是確定下來(lái)了。3不走在2做的過(guò)程中基本上已經(jīng)有了一個(gè)輪廓的認(rèn)知和理解。
      12一般系統(tǒng)架構(gòu)師來(lái)完成，3是順帶的前段設(shè)計(jì)工程師一起完成，同時(shí)3包含了前段的驗(yàn)證工程師。后端工程師4完成布線布局，最終交付給工廠進(jìn)行生產(chǎn)。后端工程師給出來(lái)的內(nèi)容是一個(gè)設(shè)計(jì)電路部分。

      設(shè)計(jì)EDA
      設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)過(guò)程中最基本的需要一些基本的物理模塊單元，這些物理模塊單元組要是由設(shè)計(jì)工具EDA完成，所以設(shè)計(jì)工程師其實(shí)也并不是多么偉大，偉大的是把這些樂(lè)高積木做出來(lái)的EDA公司。目前三大EDA設(shè)計(jì)公司Cadence、mentor、Synopsis新思。當(dāng)然設(shè)計(jì)公司中EDA全流程不經(jīng)包含了IC工具，再后端的PCB繪圖設(shè)計(jì)工具也是包含在內(nèi)的。
      在最早期，設(shè)計(jì)工具比較繁雜，做一件事情可能需要很多工具，看似類似的事情也是需要好幾個(gè)工具。產(chǎn)生這種現(xiàn)象的原因主要是模型的差異，不同維度或者不同類型的現(xiàn)象，當(dāng)前能夠比較好解釋的數(shù)學(xué)模型是較為有限的。比方說(shuō)生活中力學(xué)問(wèn)題，牛頓力學(xué)就可以解決，不需要用量子力學(xué)的內(nèi)容去解決。所以每一種軟件都是在某一類問(wèn)題邊界范圍內(nèi)對(duì)問(wèn)題進(jìn)行描述。軟件較多也是自然的事情。

      詳細(xì)設(shè)計(jì)要點(diǎn)請(qǐng)聯(lián)系合潔科技半導(dǎo)體車間建設(shè)工程師

      潔凈車間工程示例如下：