合潔科技電子凈化工程公司介紹說，半導(dǎo)體潔凈廠房裝修要根據(jù)實踐的出產(chǎn)流程設(shè)定相應(yīng)的功能間，需要考慮人員物流的走向和作業(yè)效率，在平面計劃初步斷定的基礎(chǔ)上，再斷定潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)，潔凈區(qū)的潔凈等級;然后斷定相應(yīng)的換氣次數(shù)或是截面風(fēng)速;然后安置送回風(fēng)口，規(guī)劃潔凈送風(fēng)機組(大小、方位、風(fēng)機空調(diào)選型等)，規(guī)劃送回新風(fēng)管道等。

　　半導(dǎo)體潔凈廠房裝修的平面布局，一般包括無塵區(qū)、準(zhǔn)無塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。平面安置能夠有以下幾種方法:外廊盤繞式，外廊能夠有窗和無窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。內(nèi)廊式，車間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的無塵度等級一般都較高，乃至和無塵車間同級。兩頭式，無塵區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無塵和輔佐用房。中心式，為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無塵區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來，這種方法避開室外氣候?qū)o塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

　　為了在操作中盡量削減人活動發(fā)生的污染，人員在進入無塵區(qū)之前，有必要替換無塵服并洗手、消菌、過風(fēng)淋，這些措施即人員凈化。人員凈化用房中替換無塵服的房間應(yīng)予送風(fēng)，并對進口側(cè)等其他房間堅持正壓，對廁所、淋浴堅持少量正壓，而廁所、淋浴應(yīng)堅持負壓。物料凈化道路，各種物件在送入無塵區(qū)前有必要通過凈化處理，物料凈化道路與人凈道路應(yīng)分隔，如果物料與人員只能在同一處進入半導(dǎo)體潔凈廠房，也有必要分門而入，物料先通過粗凈化處理。

　　關(guān)于出產(chǎn)流水線不強的場合在物料道路中心可設(shè)中心庫，如果出產(chǎn)流水線很強，則選用直通式物料道路，有時還需在直通道路中心設(shè)傳遞設(shè)備。

　　在體系規(guī)劃上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對無塵區(qū)應(yīng)堅持負壓或零壓，如果污染性大則對進口方向也要堅持負壓。無塵車間的管線十分復(fù)雜，所以對這些管線均選用隱蔽組織方法;詳細隱蔽組織方法有以下幾種。技能夾層，頂部技能夾層，在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面大，故作為夾層內(nèi)首要考慮的目標(biāo)。一般將其組織在夾層的上方其下組織電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可接受必定分量時，能夠在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。

　　房間技能夾層，這種方法和頂部夾層比較，能夠削減夾層的布線與高度，能夠省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技能夾道，夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機動力設(shè)備配電等，車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。技能夾道(墻)，上下夾層內(nèi)的水平管線一般都要轉(zhuǎn)向為豎向管線，這此豎向管線地點的蔭蔽空間即技能夾道。

　　這類技能夾道(墻)由于大多選用輕質(zhì)間隔，所以當(dāng)工藝調(diào)整時，可方便地進行調(diào)整。技能豎井，如果說技能夾道(墻)往往不越層，則需求越層時即用技能豎井，而且常常作為修建結(jié)構(gòu)的一部分。

　　由于技能豎井把各層勾結(jié)起來，為了防火內(nèi)部管線安裝完成后，要在層間用耐火極限不低于樓板，檢修作業(yè)分層進行，檢修門有必要設(shè)防火門。不管技能夾層，技能夾道還是技能豎井，當(dāng)直接兼作風(fēng)道時，其內(nèi)外表有必要按無塵車間的內(nèi)外表的要求處理。