有很多電子工廠都離不開(kāi)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，那么，電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)無(wú)塵車(chē)間環(huán)境有什么要求呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機(jī)電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開(kāi)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料;環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力;水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。

　　1、面積大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來(lái)越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來(lái)說(shuō)，5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2;6代TFT潔凈室的面積約40000m2;到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。

　　2、潔凈度高：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來(lái)越高。例如，12時(shí)園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達(dá)1級(jí)(0.1um)也就是每立方英尺空氣中≥0.1um的粒子數(shù)不能超過(guò)1顆。相當(dāng)于ISO1級(jí)。

　　3、精度高：電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來(lái)越高。還以上述微電子的光刻間為例：其溫度精度為士0.1℃，相對(duì)濕度的精度為士3%。

　　4、純度要求高：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹?lái)越純。例如：對(duì)高純水而言，不僅對(duì)其電阻率有要求，而且對(duì)高純水中所含粒子、細(xì)菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求，隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展，對(duì)其純度的要求也越來(lái)越高?？芍^純之又純。

　　5、要求更嚴(yán)格：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對(duì)環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時(shí)對(duì)環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場(chǎng)屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對(duì)環(huán)境的分子級(jí)污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對(duì)半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時(shí)還要用淋水(淋自來(lái)水、淋純凈水)來(lái)吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過(guò)濾器來(lái)吸附新風(fēng)中的有害分子成份。

　　正因?yàn)殡娮訌S無(wú)塵車(chē)間的生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈環(huán)境提出了更高的要求，所以電子無(wú)塵車(chē)間的裝修建設(shè)難度也越來(lái)越大，為此，一定要找靠譜專業(yè)的凈化工程公司來(lái)進(jìn)行專業(yè)的裝修建設(shè)，否則電子無(wú)塵車(chē)間但凡有一點(diǎn)不達(dá)標(biāo)，帶來(lái)的后果就是很?chē)?yán)重的。