根據(jù) ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)，100級潔凈廠房也稱為ISO 5級潔凈廠房，是一種高度受控的環(huán)境，旨在保持極低的空氣傳播微粒水平。具體來說，它允許每立方英尺空氣中的顆粒物不超過100個，顆粒物≥0.5微米，即每立方米空氣中的顆粒物不超過3520個。

　　氣流和過濾

　　HEPA 過濾器(高效微粒空氣過濾器)： 這些過濾器必須至少去除 99.97% 直徑為 0.3 微米的空氣顆粒。

　　層流：通常用于確?？諝庖詥我环较蛄鲃樱瑴p少湍流和顆粒污染的可能性。

　　高換氣率： 通常每小時換氣約 240-480 次，以保持所需的潔凈度。

　　操作規(guī)程

　　嚴(yán)格的穿衣程序： 工作人員必須穿戴全身防護服、頭罩、手套、口罩和鞋套，以防止污染。

　　定期清潔： 必須遵循徹底的清潔規(guī)程，以保持潔凈度水平。

　　應(yīng)用

　　半導(dǎo)體制造： 微小的污染會影響電子元件的功能。

　　制藥： 特別是無菌產(chǎn)品的生產(chǎn)。

　　生物技術(shù)： 污染會影響生物實驗或產(chǎn)品。

　　航空航天： 用于敏感元件的組裝。